MEMS 惯性导航 · 交互式原理

从科里奥利力到卡尔曼滤波——点击每个模块,理解组合导航的每一环。

⚠ 逐步完善中 · 物理细节正在逐项校准

Coriolis 效应

Fc = 2m · ω × v

当质量块在旋转参考系中运动时,会受到一个垂直于运动方向的惯性力——Coriolis 力。这是 MEMS 陀螺仪的工作基础。

MEMS 陀螺仪让质量块在驱动方向(x 轴)做高频振动。当外部有角速度输入时,Coriolis 力使质量块在检测方向(y 轴)产生微小位移。

这个位移通过差分电容检测转换为电信号。位移量与角速度成正比,因此测量电容变化就能得到角速度。

100°/s
1.0
角速度 ω
100.0 °/s
Coriolis 力 Fc
0.00 μN
Y 方向位移
0.00 nm
电容差 ΔC
0.00 fF

质量块-弹簧-阻尼系统

m·ẍ + b·ẋ + k·x = m·a

MEMS 加速度计的核心是一个悬挂在弹簧上的质量块。外部加速度使质量块产生相对位移。

在低频条件下(远低于固有频率),位移与加速度成正比,比例系数为 m/k。稳态响应:x ≈ (m/k)·a

差分电容检测将位移转换为电信号。闭环模式下,反馈力使质量块回到原位,反馈力的大小即为加速度度量。

0.0 g
10 kHz
0.7
加速度 a
0.00 g
位移 x
0.00 nm
电容差 ΔC
0.00 fF
工作模式
开环

信号处理链路

从 MEMS 芯片到数字输出,信号经历电容-电压转换、模数转换、数字滤波和温度补偿。每个阶段都会引入噪声,也需要抑制噪声。

MEMS传感器
pF 级电容变化
C/V 转换
mV → V 级电压
ADC
16-24 bit 量化
数字滤波
低通 + 温度补偿
输出
数字数据流
250 Hz
1000 Hz
25 °C
截止频率
250 Hz
采样率
1000 Hz
温补偏差
0.00 mg

卡尔曼滤波融合

x = [δp, δv, δψ, ba, bg] (15维)

GNSS 提供绝对定位但更新率低(1-20 Hz),IMU 提供高频推算(100-1000 Hz)但误差随时间累积。

卡尔曼滤波将两者的信息最优融合:IMU 提供平滑的高频轨迹,GNSS 提供绝对参考来校正 IMU 的累积漂移。

15 维状态向量包含位置误差、速度误差、姿态误差、加速度计零偏和陀螺零偏。

5 Hz
0.05 °/√h
GNSS 误差
--
IMU 漂移
--
融合误差
--

Allan 方差

σ²(τ) = 1/(2N) · Σ(ȳi+1 − ȳi)²

Allan 方差是分析 IMU 噪声特性的标准工具。通过在不同平均时间 τ 下计算方差,可以分离出不同类型的噪声源。

曲线的每一段斜率对应一种噪声:-1 是量化噪声,-1/2 是角度随机游走(ARW),0 是零偏不稳定性,+1/2 是速率随机游走,+1 是速率斜坡。

从曲线的平坦段可以读出零偏不稳定性——这是 IMU 最重要的性能指标之一。

噪声类型斜率典型来源
量化噪声-1ADC 量化误差
角度随机游走-1/2热噪声 / 光子噪声
零偏不稳定性0电子元件闪烁噪声
速率随机游走+1/2零偏的长周期波动
速率斜坡+1温度漂移 / 老化